日立熱場式場發(fā)射掃描電鏡SU5000特點：
▲高性能電子光學(xué)系統(tǒng)
二次電子分辨率: 頂位二次電子探測器(2.0 nm at 1kV)＊
高靈敏度: PD-BSD, 強的低加速電壓性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于微區(qū)分析
▲性能優(yōu)良
壓力可變: 具有優(yōu)的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配備高靈敏度低真空探測器(UVD)＊
開倉室快速簡單換樣(大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等
*選配附件
日立熱場式場發(fā)射掃描電鏡SU5000規(guī)格：
|
項目
|
內(nèi)容
|
|
分辨率
|
1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 減速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
|
|
放大倍率
|
10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
|
|
電子光學(xué)系統(tǒng)
|
電子槍
|
ZrO /W 肖特基式電子槍
|
|
加速電壓
|
0.5 -
30 kV (0.1 kV 步進)
|
|
著陸電壓
|
減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
|
|
大束流
|
> 200 nA
|
|
探測器
|
低位二次電子探測器
|
|
低真空模式*2
|
真空范圍: 10 - 300 Pa
|
|
馬達臺
|
馬達臺控制
|
5 - 軸自動 (優(yōu)中心)
|
|
可動范圍
|
X：0～100mm
Y：0～50mm
Z：3～65mm
T：-20～90°
R：360°
|
|
大樣品尺寸
|
大直徑: 200 mm
大高度: 80 mm
|
|
選配探測器
|
高分辨率頂位二次電子探測器＊1
高靈敏度低真空探測器 (UVD)
5分割半導(dǎo)體探測器 (PD-BSD)*3
能譜儀 (EDS)
波譜儀 (WDS)
背散射電子衍射探測器 (EBSD)
|
*1：減速功能（包含高分辨率頂位二次電子探測器）
*2：低真空功能（包含5分割半導(dǎo)體探測器）
*3：空壓機(本地采購)
